實(shí)力源多弧 中頻磁控濺射鍍膜機(jī):內(nèi)腔直徑1680*高度1200，主抽配置3臺400中科儀分子泵 1臺翠曼600羅次泵 2臺70南光機(jī)械泵，輔抽配置一臺翠曼300羅次泵 1臺70南光機(jī)械泵，配置10個佳寧250A弧電源，單邊裝有5個弧靶，對邊預(yù)留5個弧靶位，，配置4對中頻圓柱濺射靶，可裝10對，配置30KW眾鑫達(dá)中頻電源和30Kw偏壓電源，配置4路美國AE流量計，爐內(nèi)配加熱器，可達(dá)300℃，下轉(zhuǎn)架28桿，桿距160mm全自動控制系統(tǒng)電柜