1）： 采用工控機 PLC 掃碼控制，方便信息的讀取、記錄，可與工廠MES系統(tǒng)相連接 2）： 適用于多種規(guī)格尺寸硅片腐蝕清洗，同一套設(shè)備可編程多套運行軟件 3）： 根據(jù)工藝需求，槽體可匹配超（兆）聲、抖動、旋轉(zhuǎn)、循環(huán)過濾等功能 4）： 全自動控制，可選擇自動配、補液，保證了操作的安全穩(wěn)定性 5）： 高速移裁機械手，伺服驅(qū)動控制，保證運行平穩(wěn)，定位可靠 6）： 采用全部知名電氣元件