3電機(jī)，重7噸/臺(tái)，用1年多，機(jī)器狀況良好未磨損。工廠倒閉所以低價(jià)售出，新機(jī)器價(jià)格85萬左右。　本機(jī)器主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其它半導(dǎo)體材料的雙面高精度研磨或拋光，也適用于其它金屬、非金屬、光學(xué)玻璃等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。　機(jī)器采用四電機(jī)驅(qū)動(dòng)，下盤、上盤、內(nèi)齒圈和太陽輪分別由電機(jī)單獨(dú)驅(qū)動(dòng)。 　　機(jī)器整體結(jié)構(gòu)緊湊，運(yùn)行平穩(wěn)，有效地縮短各傳動(dòng)軸的長(zhǎng)度，增加機(jī)器的機(jī)械剛度。 　　內(nèi)齒圈、太陽輪同步升降并采用點(diǎn)動(dòng)操作方式。 　　上盤裝置增加機(jī)械的安全裝置，在擺片、維修等狀態(tài)下不會(huì)因突然故障而下降，增加了安全性。 　　通過改變內(nèi)齒圈、太陽輪的速度，調(diào)整實(shí)現(xiàn)游星輪的正、反轉(zhuǎn)。磨盤尺寸:φ1355×φ457×50(mm)工件厚度：大：40(mm)    小：0.5(mm)工件直徑：大：φ440(mm)下盤轉(zhuǎn)速：0～50(rpm)游星輪數(shù)量：5 游星輪參數(shù)：Z=170      Mn=3上盤壓力范圍：20～700(Kg)電源／耗電量:3相-380V／30KVA氣源／耗氣量：0.5(Mpa)／30(L/min)  主機(jī)尺寸：2650×1850×2750(mm)機(jī)器重量：～8000(Kg)