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氮化硅(Si3N4)靶材 99.99%

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

氮化硅(Si3N4)靶材 99.99% 純度:99.9% 分子式:Si3N4 分子量:140.28 CAS號:12033-89-5 密度:3.44 折射率:2.1 氮化硅是一種重要結構陶瓷材料,它是一種超硬物質(zhì),本身具有潤滑性,并且耐磨;為原子晶體;耐熱涂層,用于火箭和原子反應堆。 氮化硅陶瓷靶材是通過(guò)壓制和燒結而成的呈灰色固體材料, 其熔點(diǎn)1900℃,密度 3.20g/cm³。 氮化硅在微加工中用作蝕刻掩模,在集成電路中用作絕緣體和化學(xué)屏障。其他用途包括許多不同應用中的軸承,以及火箭發(fā)動(dòng)機等高溫材料。

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