SS-T系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出。電源輸出頻率設為典型的40KHZ。中頻濺射電源以?xún)蓚€(gè)濺射靶作為負載，兩個(gè)靶交替工作，因此濺射靶一個(gè)濺射周期內一半以上的時(shí)間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時(shí)，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用于反應膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW 輸入電源 AC380V三相四線(xiàn)制50-60HZ±10％ 輸出方式 交流正弦波 輸出頻率 40KHz 輸出電壓 空載1000V[有效值] 輸出特性 恒流/恒功率 滅弧時(shí)間 ≤3uS 輸出穩定率 1％ 冷卻方式 2-10KW風(fēng)冷 10-120KW水冷 使用環(huán)境 環(huán)境溫度 0-40℃ 環(huán)境濕度 相對濕度≤85％ 空氣清潔 無(wú)粉塵 無(wú)腐蝕性易燃性氣體 通風(fēng)良好 冷卻水 清潔 不含礦物質(zhì)及其他可溶性物質(zhì) 水溫 20-30℃ 壓力 0.15±0.05Mpa 通訊方式 模擬/RS485/RS232 說(shuō)明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整