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產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

      作為一個(gè)龐大且復(fù)雜的行業(yè),芯片行業(yè)擁有一條超長的產(chǎn)業(yè)鏈。其整體可分為設(shè)計(jì)、制造、封裝、四大環(huán)節(jié)。除了在設(shè)計(jì)領(lǐng)域,其他三個(gè)環(huán)節(jié),尤其是在制造環(huán)節(jié),國內(nèi)廠商的能力仍有較大的提升空間。高純貨品靶材被譽(yù)為半導(dǎo)體芯片材料的強(qiáng)者,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對濺射靶材和濺射薄膜的品質(zhì)要求非常高,隨著更大尺寸的硅晶圓片制造出來,相應(yīng)地要求濺射靶材也朝著大尺寸、高純度的方向發(fā)展,同時(shí)也對濺射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求。高純貨品靶材在電子信息產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用廣泛,因貨品有良好的化學(xué)穩(wěn)定性,高電導(dǎo)率、熱導(dǎo)率,以及特有的電學(xué)、磁學(xué)、光學(xué)等性能。MOCVD系統(tǒng)主要用于芯片表面的薄膜單晶層沉積,也常用于器件的三五族化合物半導(dǎo)體材料沉積。       在所有應(yīng)用產(chǎn)業(yè)中,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對靶材濺射薄膜的品質(zhì)要求是很苛刻的。硅片制造商對靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細(xì)晶粒,這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結(jié)構(gòu)。靶材另一個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域是平面顯示器(FPD)這些年來大幅沖擊以陰極射線管(CRT)為主的電腦顯示器及電視機(jī)市場,亦將帶動(dòng)ITO靶材的技術(shù)與市場需求。如今的ITO靶材有兩種.一種是采用納米狀態(tài)的氧化銦和氧化錫粉混合后燒結(jié),一種是采用銦錫合金靶材。濺射靶材在儲(chǔ)存技術(shù)方面,高密度、大容量硬盤的發(fā)展,需要大量的巨磁阻薄膜材料,CoF~Cu多層復(fù)合膜是如今應(yīng)用廣泛的巨磁阻薄膜結(jié)構(gòu)。磁光盤需要的TbFeCo合金靶材還在進(jìn)一步發(fā)展。用它制造的磁光盤具有存儲(chǔ)容量大。壽命長,可反復(fù)無接觸擦寫的特點(diǎn)。

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